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J-GLOBAL ID：201702231440875949   整理番号：17A0864772

微細構造を利用したサブマイクロメートル印刷技術の開発

著者 (4件)： 穂苅遼平 (産業技術総合研) ,  栗原一真 (産業技術総合研) ,  高田尚樹 (産業技術総合研) ,  廣島洋 (産業技術総合研)
資料名： 日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)
巻： 23rd  ページ： ROMBUNNO.OS1302-04  発行年： 2017年03月15日 
JST資料番号： L3954B  ISSN： 2424-2691  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,毛管力を利用した印刷技術を用いて,ナノインプリントにより形成されたサブマイクロメートル幅の微細溝への金属インクの充填を実現することを目的とする。実験の結果,幅105nm,長さ158nmの微細インクパターンの形成に成功した。光学特性の評価では,銀インクパターンに起因する透過スペクトルが得られ,偏光方向による透過スペクトルの差異も確かめられた。印刷プロセスで形成した金属インクパターンの光学デバイス応用が期待できる。(著者抄録)

シソーラス用語： *微細構造 ,  技術 ,  *毛管力 ,  *パターン転写 ,  押付成形 ,  溝 ,  金属 ,  インク ,  充填 ,  光学的性質 ,  スペクトル ,  光学素子 ,  *印刷技術 ,  微細溝 ,  透過スペクトル
準シソーラス用語： *ナノインプリント ,  光学特性 ,  光学デバイス

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  印刷技術一般  (ZA05010T)

タイトルに関連する用語 (3件)： 微細構造 ,  サブ ,  開発