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J-GLOBAL ID：201702231995367734   整理番号：17A0364013

平面ピエゾ抵抗振動センサの事例研究:過渡時間履歴信号波の測定【Powered by NICT】

Case studies of a planar piezoresistive vibration sensor: Measuring transient time history signal waves

著者 (5件)： Zhang Lan (Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering (UMEMSME), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan) ,  Lu Jian (Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering (UMEMSME), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan) ,  Kurashima Yuichi (Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering (UMEMSME), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan) ,  Takagi Hideki (Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering (UMEMSME), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan) ,  Maeda Ryutaro (Research Center for Ubiquitous MEMS and Micro Engineering (UMEMSME), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Ibaraki 305-8564, Japan)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 165  ページ： 27-31  発行年： 2016年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 経済の発展に伴い,我々に曝露されているますます社会的問題。時間がたつにつれて,土木構造物の安全性モニタリングの合理的方法が必要である。同様に,窓やドアの運動を監視するために,ホームセキュリティシステムはいくつかの低電力センサノードを必要とする。一方,新しい空洞,マイクロマシニングプロセスを用いて,平面圧電抵抗振動センサは単純な構造とより少ない包装困難を有することを作製することができた。な圧抵抗利用の振動センサは,以前の要求を満たすことができるかどうかを決定するために,本論文では,与えられたセンサの包括的評価を提示した。開発した振動センサを用いたランダム振動,過渡時刻歴波,地震振動を測定した。この評価の結果を報告前に,雑音密度に関してセンサの機能的特徴の解析を提供する。結果が示すように,圧電抵抗平面振動センサは理想的に行い,リアルタイムで住宅セキュリティや土木構造物の状態を監視するために使用できる。さらに,いくつかの高度な民間と産業応用をこのセンサで実現可能な方法を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 雑音 ,  土木構造物 ,  *センサ ,  安全性 ,  応答特性 ,  不規則振動 ,  *事例研究 ,  セキュリティ
準シソーラス用語： 産業応用 ,  実時間 ,  センサノード ,  低電力化 ,  時間履歴 ,  *振動センサ ,  *圧電抵抗 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ピエゾ抵抗 ,  振動センサ ,  共振器 ,  蒸気HF ,  高応答性

分類 (3件)： 半導体集積回路  (NC03162T) ,  分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ピエゾ抵抗 ,  振動センサ ,  研究 ,  時間履歴