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J-GLOBAL ID：201702232174754627   整理番号：17A1375378

フレキシブルデバイス実現のための紫外レーザーコーティング技術

Ultraviolet Laser Coating Technology for Flexible Devices

著者 (1件)： 土屋哲男 (産業技術総合研 先進コーティング技術研究セ)
資料名： レーザー研究  (レーザー学会誌)
巻： 45  号： 10  ページ： 621-626  発行年： 2017年10月20日 
JST資料番号： X0335A  ISSN： 0387-0200  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： センサを搭載した各種デバイスからビッグデータの収集が行われている。各種デバイスでは,用途に合わせて携帯性が可能となるフレキシブルデバイスが強く求められている。フレキシブルデバイスを実現するためには,柔軟な金属や樹脂基板に,機能性セラミックスを作製する必要がある。紫外レーザーによる金属有機化合物の光化学反応を利用し,多様な機能性セラミックス膜を金属や樹脂基板に成膜できる塗布光照射法を開発した。本報告では,塗布光照射法について紹介した。塗布光照射法の特徴を述べ,室温で大気中での多結晶成長やエピタキシャル成長について説明した。これらの事例と共に,その機構を述べ,フレキシブルデバイスでのセラミックスコーティングへの応用を示した。

シソーラス用語： 紫外レーザ ,  被覆 ,  *フレキシブル基板 ,  *光学素子 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  エピタクシー ,  機能性セラミック ,  有機金属化合物 ,  光化学反応 ,  基板 ,  プラスチック ,  多結晶 ,  大気中
準シソーラス用語： *フレキシブルデバイス ,  樹脂基板

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (38件)：

• T.Tsuchiya, A.Watanabe, H. Niino,I. Yamaguchi,T. Manabe,T. Kumagai,and S.Mizuta:Appl. Surf. Sci.186(2002)173.
• T.Tsuchiya, A. Watanabe, Y. Imai, H. Niino,I. Yamaguchi, T. Manabe, T. Kumagai, and S. Mizuta:Jpn. J. Appl. Phys.38 (1999)L823.
• T.Tsuchiya, A. Watanabe, Y. Imai, H. Niino,I. Yamaguchi, T. Manabe, T. Kumagai, and S.Mizuta:Jpn. J. Appl. Phys.38 (1999)L1112.
• T.Tsuchiya, A. Watanabe,Y. Imai, H. Niino,I. Yamaguchi, T. Manabe, T. Kumagai, and S. Mizuta:Jpn. J. Appl. Phys.39 (2000)L866.
• T.Tsuchiya, A. Watanabe, T. Nakajima, and T. Kumagai: Appl. Phys.A101 2010 681.

タイトルに関連する用語 (3件)： フレキシブルデバイス ,  紫外レーザー ,  コーティング