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J-GLOBAL ID：201702233582374685   整理番号：17A0406630

COガスセンシング応用のためのホウ素ドープダイヤモンドナノワイヤ【Powered by NICT】

Boron-doped diamond nanowires for CO gas sensing application

著者 (5件)： Peng Xiaoyan (College of Electronic and Information Engineering, Southwest University, Chongqing, 400714, China) ,  Chu Jin (Chongqing Key Laboratory of Multi-Scale Manufacturing Technology, Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, CAS, Chongqing, 400714, China) ,  Wang Lidan (College of Electronic and Information Engineering, Southwest University, Chongqing, 400714, China) ,  Duan Shukai (College of Electronic and Information Engineering, Southwest University, Chongqing, 400714, China) ,  Feng Peter (Department of Physics, College of Natural Sciences, University of Puerto Rico, San Juan, 00936-8377, PR, USA)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 241  ページ： 383-389  発行年： 2017年 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン基板上に配列したほう素をドープした超ナノ結晶ダイヤモンド(B UNCD)ナノワイヤ(NW)の三群は,連続プロセス:マイクロ波プラズマ化学蒸着,電子ビームリソグラフィーと反応性イオンエッチングにより作製した。B UNCD NWの各群の両端上に構築されたAu電極は基本的な電気回路を用いた一酸化炭素(CO)センシング測定のための高性能ガスセンサアレイを形成した。数ナノメートルの周りの境界粒径B UNCDを成功裏に合成し,同一の直径と長さの異なる三群妥当な直線ダイヤモンドのNWsは,単一基板上に構築した。UNCD中のほう素イオンの高濃度ほう素ドーピングは,ダイヤモンドとAu電極間のOhm接触を誘導した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： *ドーピング ,  金 ,  粒径 ,  *ダイヤモンド ,  電子ビームリソグラフィー ,  Ohm接触 ,  一酸化炭素 ,  *ホウ素 ,  RIE【エッチング】 ,  *ナノワイヤ
準シソーラス用語： ホウ素ドーピング ,  ガスセンサアレイ ,  マイクロ波プラズマCVD ,  シリコンウエハ ,  *ボロンドープダイヤモンド , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： COガス ,  センシング ,  応用 ,  ホウ素ドープダイヤモンド ,  ナノワイヤ