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J-GLOBAL ID：201702234026181934   整理番号：17A0462207

電界放出データからの電流制限要素の特性の導出

Extraction of the characteristics of current-limiting elements from field emission measurement data

著者 (12件)： Bachmann Michael (Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany) ,  Dams Florian (Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany) ,  Duesberg Felix (Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany) ,  Hofmann Martin (Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany) ,  Pahlke Andreas (Ketek GmbH, 81737 Munich, Germany) ,  Langer Christoph (Faculty of General Sciences and Microsystems Technology, OTH Regensburg, 93053 Regensburg, Germany) ,  Lawrowski Robert (Faculty of General Sciences and Microsystems Technology, OTH Regensburg, 93053 Regensburg, Germany) ,  Prommesberger Christian (Faculty of General Sciences and Microsystems Technology, OTH Regensburg, 93053 Regensburg, Germany) ,  Schreiner Rupert (Faculty of General Sciences and Microsystems Technology, OTH Regensburg, 93053 Regensburg, Germany) ,  Serbun Pavel (School of Mathematics and Natural Sciences, University of Wuppertal, 42219 Wuppertal, Germany) ,  Luetzenkirchen-Hecht Dirk (School of Mathematics and Natural Sciences, University of Wuppertal, 42219 Wuppertal, Germany) ,  Mueller Guenter (School of Mathematics and Natural Sciences, University of Wuppertal, 42219 Wuppertal, Germany)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35  号： 2  ページ： 02C103-02C103-9  発行年： 2017年03月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,飽和制限電界放出測定データから非理想的電界放出回路要素の特性を導き出すためのアルゴリズムを提案する。電流制限回路要素の電圧降下の計算方法は回路理論とNewton法とに基づいている。電流制限回路に設けた唯一の仮定は直列に接続することなので,この方法は飽和を示す大方の電界放出データに適用できる。パラメータ出力の意義を求めるために,データの不確実性,導いたパラメータ,パラメータ間の相関,をこのアルゴリズムで完全に取り込む。n型シリコン試料を外部抵抗を変化させて解析する。すべての結果は公称抵抗値と良く一致する。さらに,p型試料もいくつか分析し,ダイオード状の振舞いを示す。導かれたp型試料の電流制限特性はpn接合モデルと良く一致する。p型試料の放出電流の安定性を低電圧測定で求め,導いた電流制限特性と比較する。このアルゴリズムを測定データに適用すると,このアルゴリズムが非放出過程の影響を受けた電界放出測定データの解析に有効な手段であることがわかる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *電界放出 ,  Newton-Raphson法 ,  *回路理論 ,  *電圧降下 ,  *パラメータ ,  計算機アルゴリズム ,  ケイ素 ,  N型半導体 ,  P型半導体 ,  安定性 ,  *電流制限
準シソーラス用語： Newton法

分類 (1件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： 電界放出 ,  電流制限 ,  要素 ,  導出