Chiriaco Maria Serena について
CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy について
Bianco Monica について
CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy について
Amato Francesco について
CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy について
Primiceri Elisabetta について
CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy について
Ferrara Francesco について
ST Microelectronics, via per Arnesano, 73100 Lecce, Italy について
Arima Valentina について
CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy について
Maruccio Giuseppe について
CNR NANOTEC, Institute of Nanotechnology c/o Campus Ecotekne, University of Salento, via Monteroni, 73100 Lecce, Italy について
Maruccio Giuseppe について
Dipartimento Matematica e Fisica E. De Giorgi, University of Salento, Lecce, Italy について
Microelectronic Engineering について
三次元 について
生体適合性 について
最適化 について
相互接続 について
一体構造 について
パターン形成 について
柔軟性 について
フォトリソグラフィー について
レジスト について
低価格 について
マルチレベル について
モノリス について
ラボオンチップ について
SU-8 について
犠牲層 について
微細加工技術 について
マルチレベルマイクロチャネル について
LOR derivedチャネル について
SU-8モノリシック構造 について
固体デバイス製造技術一般 について
犠牲層 について
SU-8 について
相互接続 について
マルチレベル について
チャネル について
作製 について