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J-GLOBAL ID：201702237370327678   整理番号：17A0909632

真のGauss形石英結晶共振器の製作【Powered by NICT】

Fabrication of a true-Gaussian-shaped quartz crystal resonator

著者 (4件)： Kutsuwada Hiroki (Graduate School of Science and Technology, Niigata University, Niigata, Japan) ,  Watanabe Sho (Graduate School of Science and Technology, Niigata University, Niigata, Japan) ,  Sohgawa Masayuki (Graduate School of Science and Technology, Niigata University, Niigata, Japan) ,  Abe Takashi (Graduate School of Science and Technology, Niigata University, Niigata, Japan)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 260  ページ： 58-61  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,Gauss型石英結晶共振器の簡単な作製方法は,フォトレジストの表面張力に基づいて開発した。最初に,フォトレジストリフローによるレンズ形状に変更した石英ウエハ上のフォトレジストプロフィル。プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートによるフォトレジストの粘性を変えることにより,石英ウエハ上のフォトレジストプロファイルをGauss形状を作成するために調整した。最後に,Gauss型Q CR反応性イオンエッチングを用いて,石英ウエハ上に形状を移すことによって製作された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： レンズ ,  *石英 ,  正規分布 ,  粘性 ,  *結晶 ,  フォトレジスト ,  RIE【エッチング】 ,  *共振器 ,  界面張力

著者キーワード (3件)： 水晶共振器 ,  Gauss形状 ,  3D製作

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 石英 ,  結晶 ,  共振器 ,  製作