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J-GLOBAL ID：201702238816164365   整理番号：17A1003323

正確なエアギャップ形成を有するカンチレバーの製作のための改良された移動プロセス

Improved transfer process for fabrication of cantilever with precise air-gap formation

著者 (4件)： KANAZAWA Shusuke (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  KUSAKA Yasuyuki (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  YAMAMOTO Noritaka (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN) ,  USHIJIMA Hirobumi (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 5S2  ページ： 05EB01.1-05EB01.5  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文では,正確なエアギャップを有するカンチレバーを製作するための改良された移動プロセスが報告された。この製作のために,平面インプリンティング法が使用され,カンチレバー前駆体インクの乾燥条件が制御された。カンチレバー頂部と底部電極の間のエアギャップは3%以下の評価誤差で形成された。変更可能な静電容量を有する使用可能な力ゲージがカンチレバー頂部電極に力を加えることによって得られた。このプロセスは3次元構造を有するマイクロ素子の環境フレンドリーな製作を容易にすることができた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 間隙 ,  *片持梁 ,  *刷込 ,  *インク ,  電極 ,  付着力 ,  ポリジメチルシロキサン
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  *インプリンティング ,  エアギャップ ,  *カンチレバー

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  インキ  (YJ02000N)

引用文献 (30件)：

• R. Bogue, Sens. Rev. 34, 137 (2014).
• C. Perera, A. Zaslavsky, P. Christen, and D. Georgakopoulos, Trans. Emerging Telecommun. Technol. 25, 81 (2014).
• L. Atzori, A. Iera, and G. Morabito, Comput. Netw. 54, 2787 (2010).
• S. Lee, A. Reuveny, J. Reeder, S. Lee, H. Jin, Q. Liu, T. Yokota, T. Sekitani, T. Isoyama, Y. Abe, Z. Suo, and T. Someya, Nat. Nanotechnol. 11, 472 (2016).
• N. Matsuhisa, M. Kaltenbrunner, T. Yokota, H. Jinno, K. Kuribara, T. Sekitani, and T. Someya, Nat. Commun. 6, 7461 (2015).

タイトルに関連する用語 (4件)： エアギャップ ,  カンチレバー ,  製作 ,  プロセス