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J-GLOBAL ID：201702239735286332   整理番号：17A0576697

カーボンナノチューブ複合ダイヤモンド電着ワイヤーによる単結晶シリコンの切断性状

著者 (2件)： 村岡潤一 (山形県工技セ) ,  鈴木庸久 (山形県工技セ)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F62  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： カーボンナノチューブを複合させることにより砥粒保持力を強化した電着ワイヤーを試作し,切断加工時における単結晶シリコンの加工面性状の変化を通常の電着ワイヤーと比較することで,砥粒保持力が加工面性状に及ぼす影響を評価した。(著者抄録)

シソーラス用語： *カーボンナノチューブ ,  *ダイヤモンド ,  *電着 ,  *単結晶 ,  *ケイ素 ,  *砥粒 ,  *力 ,  *表面性状
準シソーラス用語： 単結晶シリコン ,  保持力 ,  加工面性状

分類 (2件)： 研削・研摩材  (YC06020Q) ,  集積回路一般  (NC03161C)

引用文献 (3件)：

• Tsunehisa SUZUKI et al., Precision Engineering, Vol. 38, (2014) pp. 659-665.
• Tsunehisa SUZUKI et al., Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering, Vol. 5, No. 8, (2011) pp. 386-396.
• 村岡潤一他,2016年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2016) pp. 625-626.

タイトルに関連する用語 (6件)： カーボンナノチューブ ,  ダイヤモンド ,  電着 ,  ワイヤー ,  単結晶シリコン ,  切断性