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J-GLOBAL ID：201702240654572254   整理番号：17A0865345

ロールツーロールUV硬化フィルムのUV強度,線速度および光分布が転化および表面弾性率に及ぼす影響

Effects of UV Intensity, Line-speed, and Light Distribution on Conversion and Surface Elastic Modulus of Roll-to-roll UV-cured Film

著者 (3件)： Taki Kentaro (College of Science and Engineering, Kanazawa University) ,  Kondo Shunsuke (Department of Polymer Science and Engineering, Yamagata University) ,  Ito Hiroshi (Department of Polymer Science and Engineering, Yamagata University)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 29  号： 6  ページ： 835-840(J-STAGE)  発行年： 2016年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ロールツーロールUVナノインプリントリソグラフィー(R2RUVNIL)は,可撓性フィルム上にナノ構造を作製するための有望な技術であるが,その適用は,UV樹脂を型から剥がすための実行可能な動作条件を見つけ出すことを必要とする。 さらに,要求されるナノ構造を達成するためには,紫外線強度および線速度に関してUV樹脂の転化を正確に最適化する必要がある。この研究では,Fourier変換赤外分光法とナノ圧子でそれぞれの転化率と表面弾性率を監視しながら,ロールツーロールUV硬化により1,6-ビス(アクリロイルオキシ)ヘキサン樹脂を硬化した。線速度の低下およびUV強度の増加により,変換率が最大85%に増加することが判明した。ローラー鋳型上のUV光の分布を変化させる効果もまた調査した。これは,UV光の鋭い分布が0.6転化率で表面弾性率を0.2~1.0GPaに増加させるのに有効であることを明らかにした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  柔軟性 ,  生産方式 ,  ナノ構造 ,  *固体素子 ,  *表面処理 ,  *光重合型樹脂 ,  放射強度 ,  最適化
準シソーラス用語： *ナノインプリントリソグラフィー ,  可撓性 ,  ロール・ツー・ロール方式 ,  ナノ構造体 ,  *固体デバイス ,  *表面処理加工 ,  *UV硬化樹脂 ,  UV強度

著者キーワード (4件)： roll-to-roll ,  UV-curable resin ,  conversion ,  elasticity

分類 (2件)： 表面処理  (YH04112X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (9件)：

• 1. H. Schift, J. Vac. Sci. Tech. B, 26 (2008), 458.
• 2. S. H. Ahn, L. J. Guo, Adv. Mater., 20 (2008) 2044.
• 3. S. H. Ahn, L. J. Guo, ACS Nano, 3 (2009) 2304.
• 4. J. J. Dumond, H. Y. Low, J. Vac. Sci. Technol. B, 30 (2012), 010801-1.
• 5. H. Yoshikawa, J. Taniguchi, G. Tazaki, T. Zento, Microelectron. Eng., 112 (2013) 273.

タイトルに関連する用語 (7件)： ロールツーロール ,  UV硬化 ,  フィルム ,  UV強度 ,  線速度 ,  光分布 ,  表面弾性