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J-GLOBAL ID：201702243409283214   整理番号：17A1731545

非接触圧電振動子の内部摩擦による蒸着した金属薄膜の形態学的変化のモニタリング【Powered by NICT】

Monitoring of morphological change of deposited metallic thin film through internal friction of noncontacting piezoelectric oscillator

著者 (2件)： Nakamura Nobutomo (Graduate School of Engineering Science, Osaka University, Japan) ,  Ogi Hirotsugu (Graduate School of Engineering Science, Osaka University, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 基板上の金属材料の蒸着中,孤立した島連続膜への形態変化が起こる。不連続連続転移近傍での停止堆積によって得られたナノ構造は特徴的な電気的性質を示し,膜成長モニタリング技術は,構造物を得るために必要である。電気伝導率測定と弾性表面波法を目的に使われてきたが,それらは基板上の電極を必要とする。本研究では,電極を使用せずに形態学的変化を検出することができる方法を開発した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 構造物 ,  電気伝導率 ,  *蒸着 ,  *内部摩擦 ,  *圧電振動子 ,  金属材料 ,  ナノ構造 ,  薄膜成長 ,  不連続性 ,  *金属薄膜 ,  電気的性質 ,  *モルフォロジー ,  弾性表面波
準シソーラス用語： *非接触 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N)

タイトルに関連する用語 (7件)： 非接触 ,  圧電振動子 ,  内部摩擦 ,  蒸着 ,  金属薄膜 ,  形態学 ,  モニタリング