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J-GLOBAL ID：201702243678514742   整理番号：17A1350648

3D-IC技術を用いた高透過率広帯域THz偏光子【Powered by NICT】

High Transmittance Broadband THz Polarizer Using 3D-IC Technologies

著者 (7件)： Chi Nai-Chen ,  Yu Ting-Yang ,  Tsai Hsin-Cheng ,  Wang Shiang-Yu ,  Luo Chih-Wei ,  Yang Yu-Tao ,  Chen Kuan-Neng
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： ECTC  ページ： 1793-1798  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高透過率と広帯域テラヘルツ(THz)偏光子を作製する新しい方法はいくつかの利点を導入した。0.5THzと2THzの間の反射防止(AR)層の単一中心周波数で実証した約100%の透過率を有する偏光子。,70%以上の均一性の透過スペクトルを有する広帯域偏光子を異なるAR層を持つ二ウエハを接合することにより作製した。広帯域テラヘルツ偏光子の帯域幅は1THzを超える。偏光子の消光比は,周波数とCuワイヤピッチに依存して約30dBであった。高透過率と広帯域THz偏光子は,深い反応性イオンエッチング(DRIE)とウエハボンディングにより達成できる。THz偏光子のこの新しい製造法は低コスト,正確な配列要求性とロバストな構造の利点を持っていない。,このアプローチは,おそらくTHz応用,さらににおけるTHz光学部品の大量生産に有用である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *透過率 ,  周波数 ,  *広帯域 ,  ロバスト性 ,  *三次元 ,  RIE【エッチング】 ,  テラヘルツ波 ,  *偏光子 ,  大量生産 ,  消光比
準シソーラス用語： 光学部品 ,  ウエハボンディング ,  透過スペクトル ,  中心周波数 ,  反射防止 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 3D ,  IC ,  高透過率 ,  広帯域 ,  偏光子