鉄心インダクタ(Cu/Al-2O_3)のインダクタンスと抵抗値に及ぼす温度の影響【Powered by NICT】

Doumit N.; Danoumbe B.; Capraro S.; Chatelon J.-P.; Blanc-Mignon M.-F.; Rousseau J.-J.

文献

J-GLOBAL ID：201702246655386949 整理番号：17A0968773

鉄心インダクタ(Cu/Al-2O_3)のインダクタンスと抵抗値に及ぼす温度の影響【Powered by NICT】

Temperature impact on inductance and resistance values of a coreless inductor (Cu/Al₂O₃)

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資料名：
巻： 72 ページ： 30-33 発行年： 2017年
JST資料番号： C0530A ISSN： 0026-2714 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

本論文では,温度に依存して無鉄心インダクタのインダクタンスと抵抗の進化を検討した。インダクタは,アルミナ基板上に堆積した銅薄膜の作製とインピーダンスアナライザを用いた10MHzまで特性化した。二タイプの測定を行っインダクタアニーリング後と熱サイクル(25 200°C)であった。これらの測定は,アニーリングの効果とインダクタンス値に及ぼす熱サイクルと同様に決定される抵抗値を可能にした。インダクタンス値はほとんど温度依存性を示さなかっが,抵抗値は150°Cまでのアニーリング時に不変のままであると銅の酸化と界面の改質と銅の体積特性のために,より高い温度では増加した。一方,熱サイクルにおいて,抵抗値は温度の上昇と共に増加し,その後冷却相で減少しその初期値(R=R_0)を回復した。抵抗変化は温度に依存して銅の抵抗率の変化によるものであった。インダクタを劣化することなく,高い温度環境における機能的のままである。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

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固体デバイス計測・試験・信頼性 , 固体デバイス製造技術一般 , LCR部品

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