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J-GLOBAL ID：201702248987324582   整理番号：17A1077053

面内磁場モニタリング用MEMS共振センサの機械的設計

Mechanical design of a novel MEMS resonant sensor for monitoring in-plane magnetic fields

著者 (3件)： ALVARADO-ROSAS V. O. (Universidad de Guanajuato, Guanajuato, MEX) ,  HERRERA-MAY A. L. (Universidad Veracruzana, Veracruz, MEX) ,  AGUILERA-CORTES L. A. (Universidad de Guanajuato, Guanajuato, MEX)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 23  号： 8  ページ： 3245-3255  発行年： 2017年08月 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)技術は,小型,低消費電力,広いダイナミックレンジ,高感度,低コストの製造などの重要な利点を備えた,磁界センサの開発を達成した。本研究では,MEMSセンサのための新しいダイヤモンド型共振器を,ローレンツ力と光学的検知技術を用いた面内磁場のモニタリング用に設計した。この共振器は,Sandia National Laboratoriesの表面マイクロマシニングプロセスSUMMiT-Vに基づいている。これは,センサ表面に平行なx-y平面上の磁場の異なる成分の検出を可能にし,ミラーの変位を測定する。異なる面内磁場および電流下での共振器の電気機械的挙動を評価するために,解析的およびFEMモデルが開発された。これらのモデルの結果は,5?20mAの電流および40-10,000μTの磁界範囲で良好に一致する。分析モデルに基づいて,MEMSセンサは,33.6kHzの共振周波数,98の品質係数,259mWの電力消費,および250nm mT^-1の感度を達成した。提案されたセンサは,強磁性材料の非破壊検査として,潜在的な用途に使用することができた。

シソーラス用語： *磁場測定 ,  *MEMS ,  *共振器 ,  *センサ ,  磁気センサ ,  Lorentz力 ,  *マイクロマシニング ,  強磁性体 ,  *非破壊検査
準シソーラス用語： 表面マイクロマシニング

分類 (3件)： 電磁気的量の計測一般  (AD07010R) ,  計測機器一般  (AD02000X) ,  混成集積回路  (NC03163K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 面内磁場 ,  モニタリング ,  MEMS ,  共振 ,  設計