Flege S. について
Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany について
Hatada R. について
Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany について
Derepa A. について
Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany について
Dietz C. について
Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany について
Ensinger W. について
Department of Materials Science, Technische Universitaet Darmstadt, 64287 Darmstadt, Germany について
Baba K. について
Graduate School of Engineering, Nagasaki University, Nagasaki 852-8521, Japan について
Review of Scientific Instruments について
イオン注入 について
蒸着 について
プラズマ曝露 について
堆積速度 について
拘束装置 について
試料 について
薄膜成長 について
縁効果 について
ダイヤモンド状炭素 について
硬度 について
薄膜成長技術・装置 について
プラズマ浸漬イオン注入 について
堆積 について
試料ホルダ について