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J-GLOBAL ID：201702250793356983   整理番号：17A0969278

逐次酸素プラズマ処理に基づく空間的に制御された波長を用いた段階的勾配しわパターンのための簡単な製造プロセス【Powered by NICT】

A simple fabrication process for stepwise gradient wrinkle pattern with spatially-controlled wavelength based on sequential oxygen plasma treatment

著者 (5件)： Lee Jeong Su (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea) ,  Hong Hyeonjun (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea) ,  Park Sung Jea (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea) ,  Lee Seong Jin (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea) ,  Kim Dong Sung (Department of Mechanical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH), 77 Cheongam-ro, Nam-gu, Pohang 37673, South Korea)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 176  ページ： 101-105  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 勾配表面皺パターンは,最近多くの関心を集めているが,これまでの努力は様々な波長徐々に表面しわの連続勾配パターンの生成に限られていた。ここでは,ポリジメチルシロキサン(PDMS)基板上に境界明瞭な異なる領域における空間的離散波長を持つ段階的勾配しわパターンの簡単な作製プロセスを報告した。段階的勾配皺パターンは,プラズマのための効果的なブロッキングマスクとしてガラス板を用いたPDMS表面の酸素プラズマの連続処理に基づいて達成,PDMS表面の特定部位に及ぼすプラズマ量の変調を実現した。波長540nm,840nmおよび1240nmの均一なサイズの三領域と60%,110%,および220nm深さの段階的勾配皺パターンを作製した。数しわパターンにより誘起される遮蔽地球表面特性のためのプラットフォームとしての段階的勾配しわパターンの有用性をしわ特徴サイズに依存して異方性濡れ挙動と透過率の差を評価することにより評価した。この作製方法は種々のしわ溝パターンの影響を調べるマイクロフルイディクスと光学的応用に容易に実装できる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 透過率 ,  *プラズマ ,  表面性状 ,  マイクロフルイディクス ,  板ガラス ,  異方性 ,  *波長 ,  *プラズマ処理 ,  ポリジメチルシロキサン ,  濡れ ,  *生産工程 ,  フルイディクス ,  地球
準シソーラス用語： *酸素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： ポリジメチルシロキサン(PDMS) ,  表面しわ ,  逐次プラズマ処理 ,  段階的勾配しわパターン ,  異方性濡れ挙動

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸素プラズマ ,  波長 ,  段階 ,  勾配 ,  しわ ,  製造プロセス