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J-GLOBAL ID：201702252623493537   整理番号：17A0576615

マルチ角度センサを用いた小型非球面の形状測定-第2報 基礎実験と精度評価-

著者 (3件)： 宮地純平 (東大) ,  高橋哲 (東大) ,  高増潔 (東大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.D64  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 非球面は近年多くの工業製品に用いられており,その表面形状を精密に計測することは需要を増してきている。現在非球面形状を計測する技術として,新たにマルチビームによる角度センサを用いて計測する手法を提案している。このセンサを使用することで,非球面のナノメートルのオーダで精密に計測することを目標とする。本報では,計測理論の詳細な解析と基礎実験について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *センサ ,  *球面 ,  非球面レンズ ,  *形状測定 ,  *形態
準シソーラス用語： 角度センサ ,  非球面 ,  表面形状 ,  表面形状測定

分類 (4件)： 非線形光学  (BD05000T) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  計測学一般  (AD01000Q) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (4件)：

• Meiyun Chen, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu. Development of high-precision micro-roundness measuring machineusing a high-sensitivity and compact multi-beam angle sensor. Precision Engineering 42 (2015) 276-282.
• H. F. Johnson, H. D. Wolpert, “Cylindrical Optics: How to Test Them,” Photonics Spectra 18, 55 (Apr.1984).
• Higashi Y, Takaie Y, Endo K, Kume T, Enami K, Yamauchi K, Yamamura K, Sano Y, Ueno K, Mori Y. Surface gradient integrated profiler for X-ray and EUV optics. Science and Technology of Advanced Materials 8 (2007): 177-180.
• Szwedowicz K K. 3D-deflectometry: Fast nanotopography measurement for the semiconductor industry. PhD Thesis (2006); Technical University of Eindhoven.

タイトルに関連する用語 (6件)： マルチ ,  角度センサ ,  非球面 ,  形状測定 ,  基礎実験 ,  精度評価