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J-GLOBAL ID：201702253248422555   整理番号：17A1999402

透明導電性CdOのバナジウムをドープしたキャリア移動度の改善【Powered by NICT】

Improving carrier mobility with vanadium doping of transparent conducting CdO

著者 (1件)： Dakhel A.A. (Department of Physics, College of Science, University of Bahrain, P.O. Box 32038, Bahrain)
資料名： Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)
巻： 79  ページ： 276-280  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化カドミウム(CdO)は様々な用途をもつ透明導電性酸化物(TCO),それらの多くはそのユニークな電気伝導率に加えてVis/NIRスペクトル範囲でその透明性に関連している。そのオプトエレクトロニクス特性は,ドーピング方法によって望ましい選択にもたらすために制御することができた。通常TCOの抵抗率はN,,ターン,TCOの透明性(特にNIR領域における)を増加させることにより減少させることができた。,吸収を低下させるもμ_el(N-よりむしろ)の増加によってρを低減する方法を探すことが重要である。本研究では,異なる量のバナジウム(V)イオンをドープしたCdO薄膜を物理蒸着法によりガラスおよびシリコンウエハ基板上に堆積した。膜をX線回折(XRD),X線蛍光(XRF),光学吸収分光法およびdc電気測定によって特性化した。得られた結果は,ホストCdOの電気伝導率(σ),移動度(μ)とキャリア濃度(N)の著しい改善を示した。420%,移動度766%,キャリア濃度による伝導率で測定した最大増強201%4~5wt%VをドープしたCdO膜これは異なるTCO応用におけるVドープCdO膜を用いることの可能性を示唆した。Copyright 2018 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 物理蒸着 ,  *ドーピング ,  キャリア密度 ,  電気伝導率 ,  酸化カドミウム ,  オプトエレクトロニクス ,  *導電性 ,  *バナジウム ,  近赤外スペクトル ,  電気測定 ,  *キャリア移動度
準シソーラス用語： 伝導率 ,  シリコンウエハ ,  透明性 ,  透明導電性酸化物 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (3件)： カドミウムバナジウム酸化物 ,  VドープCdO ,  TCO

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 導電性 ,  CdO ,  バナジウム ,  ドープ ,  キャリア移動度