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J-GLOBAL ID：201702253667819012   整理番号：17A0550297

ClF₃中性クラスター斜め2方向照射によるレバー構造の作成

著者 (7件)： 瀬木利夫 (京大 大学院) ,  荘所正 (岩谷産業) ,  小池国彦 (岩谷産業) ,  山本洋揮 (大阪大 産科研) ,  古澤孝弘 (大阪大 産科研) ,  青木学聡 (京大 大学院) ,  松尾二郎 (京大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 64th  ページ： ROMBUNNO.16p-424-1  発行年： 2017年03月01日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *塩素化合物 ,  *フッ化物 ,  *クラスタ ,  *クラスタビーム ,  *エッチング ,  *衝突 ,  MEMS ,  *構造
準シソーラス用語： *三フッ化塩素 ,  *中性クラスタ ,  *異方性エッチング ,  *斜め衝突 ,  *レバー構造

分類 (2件)： 原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 中性クラスター ,  2方向 ,  レバー