文献

J-GLOBAL ID：201702258212551497   整理番号：17A0468766

レーザの特殊な使い方 フォトニックナノジェットを利用した表面微細加工に関する基礎研究

著者 (3件)： 高谷裕浩 (大阪大 大学院工学研究科) ,  上野原努 (大阪大 大学院工学研究科) ,  水谷康弘 (大阪大 大学院工学研究科)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 61  号： 4  ページ： 179-182  発行年： 2017年04月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 表面微細加工および3次元マイクロ加工寸法はマイクロメートルからサブミクロンスケールへと推移している。本稿では,フォトニックナノジェット(PNJ)の位置制御による新たな加工法の確立をめざした基礎的な検討について紹介した。PNJとは,直径数マイクロメートルの誘電体マイクロ球にレーザ光を照射することでマイクロ球の後方に発生する微細なビームである。Siウェーハ表面に直接配置したマイクロ球にレーザ光を照射する基礎的なPNJ加工実験によって,PNJによるエネルギー密度の増強を確認した。さらにマイクロピペットを用いたマイクロ球の位置制御によって,PNJの位置制御が可能な加工システムを構築し,PNJの強度分布を反映したサブミクロンスケールの加工特性を検証した。

シソーラス用語： *微細加工 ,  *表面加工 ,  ジェット【素粒子】 ,  位置制御 ,  誘電体 ,  ミクロスフェア ,  レーザビーム ,  *レーザ照射 ,  ウエハ【IC】 ,  エネルギー密度 ,  実験用器具 ,  分布 ,  サブミクロン加工 ,  *光子ビーム
準シソーラス用語： マイクロピペット

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ ,  使い方 ,  微細加工 ,  基礎 ,  研究