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J-GLOBAL ID：201702260156923500   整理番号：17A0606004

エアブロー工程の空気圧管理へのカンチレバー型ひずみセンサの適用

著者 (6件)： 岩松新之輔 (山形県工業技術センター) ,  多田伸吾 (山形県工業技術センター) ,  今野俊介 (山形県工業技術センター) ,  阿部泰 (山形県工業技術センター) ,  矢作徹 (山形県工業技術センター) ,  加藤睦人 (山形県工業技術センター)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 137  号： 3  ページ： 84-88(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,圧縮空気を用いた洗浄・乾燥工程において,被加工物に印加される圧力を管理することを目的として,カンチレバー型ひずみセンサを用いて,ブロアやエアガンから吐出する圧縮空気の圧力を直接測定する手法を検討した。高圧窒素吹き付け時のセンサ出力電圧を,レギュレータ圧力,センサ-ノズル間距離,吹き付け位置をパラメータとして評価した。レギュレータ圧力に対しては,線形的な出力変化を示すことが確認された。センサ-ノズル間距離に対しては反比例の関係にあることが確認された。出力電圧の吹き付け位置依存性を評価した結果,カンチレバー全面に等分布荷重が印加される条件で適正な測定が実現できることが確認された。

シソーラス用語： *圧縮空気 ,  *片持梁 ,  *歪測定 ,  *センサ ,  *圧力測定 ,  空気圧制御 ,  送風機 ,  歪計
準シソーラス用語： 歪センサ ,  空気ブロア

著者キーワード (8件)： 圧縮空気 ,  カンチレバー ,  ひずみセンサ ,  圧力測定 ,  compressed air ,  cantilever ,  strain sensor ,  pressure measurement

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (7件)：

• (1) A. Shimoyama and K. Shida : “Measurement of Temperature and Wind Velocity Based on Multi-Functional Measurement using a Thermistor”, IEEJ Trans. SM, Vol. 127, No. 4, pp. 247-252 (2007) (in Japanese)
• 下山昭彦・信太 克:「サーミスタを使用した多機能計測による温度・風速の測定」, 電学論E, Vol. 127, No. 4, pp. 247-252 (2007)
• (2) S. Yasaka, S. Ohya, M. Mitsuhashi, S. Kaneko, T. Ito, Y. Kanno, Y. Aikyo, S. Komuro, K. Ohbayashi, and M. Kimura : “Thermal Anemometer Using a Micro-Air-Bridge Heater with Chip Scale Wind Tunnel”, IEEJ Trans. SM, Vol. 127, No. 4, pp. 241-246 (2007) (in Japanese)
• 八坂慎一・大屋誠志郎・三橋雅彦・金子 智・伊藤 健・菅野洋一・相京幸保・小室眞一・大林一也・木村光照:「貫通型マイクロエアブリッジヒータを用いた熱式風速計の試作(チップスケール風洞型風速計)」, 電学論E, Vol. 127, No. 4, pp. 241-246 (2007)
• (3) Y.-H. Wang, C.-Y. Lee, and C.-M. Chiang : “A MEMS-based Air Flow Sensor with a Free-standing Micro-cantilever Structure”, Sensors, Vol. 7, No. 10, pp. 2389-2401 (2007)

タイトルに関連する用語 (5件)： エア ,  ブロー工程 ,  空気圧 ,  カンチレバー ,  ひずみセンサ