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J-GLOBAL ID：200902253918976890   整理番号：07A0329629

貫通型マイクロエアブリッジヒータを用いた熱式風速計の試作(チップスケール風洞型風速計)

Thermal Anemometer Using a Micro-Air-Bridge Heater with Chip Scale Wind Tunnel

著者 (10件)： 八坂慎一 (神奈川県産技セ) ,  大屋誠志郎 (神奈川県産技セ) ,  三橋雅彦 (神奈川県産技セ) ,  金子智 (神奈川県産技セ) ,  伊藤健 (神奈川県産技セ) ,  菅野洋一 (アイ電子技研) ,  相京幸保 (フラット電子) ,  小室眞一 (フラット電子) ,  大林一也 (フラット電子) ,  木村光照 (東北学院大 工)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 127  号： 4  ページ： 241-246  発行年： 2007年04月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 従来のマイクロエアブリッジヒータを用いた熱式風速計は,センサ...

シソーラス用語： *風速計 ,...
準シソーラス用語： *熱式風速計

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分類 (1件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

引用文献 (10件)：

• (1) 木村光照:「熱型マイクロセンサの技術動向」,山武 Savemation Review 2001, pp. 4-13 (2001)
• (2) B. W. van Oudheusden and J. H. Huijsing : “An electronic wind meter based on a silicon flow sensor”, Sensors and Actuators, A21-23, pp. 420-424 (1990)
• (3) F. Mailly, A. Giani, R. Bonnot, P. Temple-Boyer, F. Pascal-Delannoy, A. Foucaran, and A. Boyer : “Anemometer with hot platinum thin film”, Sensors and Actuators, A94, pp. 32-38 (2001)
• (4) T. Masai, S. Sasaki, and K. Imanaka : “Packaging technology for sensor and actuator MEMS devices”, T. IEE Japan, Vol. 124-E, No. 2, pp. 43-48 (2004-2) (in Japanese)
• 政井 琢・佐々木昌・今仲行一:「センサ/アクチュエータMEMSにおけるパッケージング技術」, 電学論E, 124, 2, pp. 43-48 (2004-2)

タイトルに関連する用語 (4件)： 風速計 ,  試作 ,  スケール ,  風洞