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J-GLOBAL ID：201702261826702998   整理番号：17A1570370

MEMS透過型電子顕微鏡のための薄膜陽極の技術と特性【Powered by NICT】

Technology and properties of thin membrane-anode for MEMS transmission electron microscope

著者 (5件)： Krysztof Michal (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw, Poland) ,  Tomasz Grzebyk Piotr Szyszka (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw, Poland) ,  Laszczyk Karolina (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw, Poland) ,  Drzazga Anna Gorecka (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw, Poland) ,  Dziuban Jan (Wroclaw University of Science and Technology, Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw, Poland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IVNC  ページ： 190-191  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小型化した透過型電子顕微鏡のアノードの作製を記述した。アノードは電子光学マイクロシステムを囲む非常に薄い膜(膜アノード)から構成され,それは顕微鏡の試料室から高真空部分を分離した。膜アノードは,酸化シリコン基板上に堆積したSi_3N_4層で作られていると四段階フォトリソグラフィー,プラズマエッチング,Siの湿式異方性エッチング,SiO_2ストリッピングで作製した。膜を特性化し,それらの予備的な性能パラメータを示し,すなわち機械的強度と電子透過した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *薄膜 ,  機械的強度 ,  高真空 ,  ケイ素 ,  小型化 ,  酸化ケイ素 ,  *MEMS ,  電子光学 ,  フォトリソグラフィー ,  *透過型電子顕微鏡 ,  キャラクタリゼーション ,  *顕微鏡 ,  プラズマエッチング
準シソーラス用語： 異方性エッチング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  透過型電子顕微鏡 ,  薄膜 ,  陽極