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J-GLOBAL ID：201702266804890812   整理番号：17A0470306

高分解能透過型電子顕微鏡により研究したCr(N,O)薄膜の微細構造【Powered by NICT】

Microstructure of Cr (N,O) thin films studied by high resolution transmission electron microscopy

著者 (6件)： Suzuki Kazuma (Department of Electrical Engineering, National Institute of Technology, Sendai College, 48 Nodayama, Medeshima-Shiote, Natori 981-1239, Japan) ,  Suematsu Hisayuki (Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka 940-2188, Japan) ,  Thorogood Gordon James (Australian Nuclear Science and Technology Organisation, Lucas Heights 2234, NSW, Australia) ,  Thorogood Gordon James (Department of Nuclear System Safety Engineering, Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka 940-2188, Japan) ,  Suzuki Tsuneo (Extreme Energy-Density Research Institute, Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka 940-2188, Japan) ,  Suzuki Tsuneo (Department of Nuclear System Safety Engineering, Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka 940-2188, Japan)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 625  ページ： 111-114  発行年： 2017年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸素含量の増加に関してCr(N,O)薄膜の硬化メカニズムへの洞察を得るために,薄膜中のCr(N,O)結晶粒のミクロ組織を研究した。高分解能透過型電子顕微鏡を,パルスレーザ蒸着により作製したCr(N,O)薄膜中の結晶粒,>27mo1%の酸素含有量を持ち,積層欠陥を含むという証拠を提供した。電子回折による相の同定,結晶粒は二つの相,NaCl型とコランダム型構造を持つから成り,これらの相はCr_0 0.67O薄膜のそれと同じ方位を有していたことを示した。酸素含有量34mo1%のCr(N,O)の推定積層欠陥エネルギーは20mJ/m~2であった。著者らの結果は,Cr(N,O)結晶粒は,ナノラメラ形態は拡張転位の導入によって形成されたことを可能性を支えるCr_0 0.67O薄膜のそれと同じナノラメラ形態が認められた。Cr(N,O)の硬化はナノラメラ形態の境界での転位ピン止めによって引き起こされたことも可能である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 電子回折 ,  *薄膜 ,  拡張転位 ,  パルスレーザ蒸着 ,  塩化ナトリウム ,  ピン止め ,  *クロム ,  コランダム ,  窒化物 ,  積層欠陥 ,  積層欠陥エネルギー ,  結晶粒 ,  レーザアブレーション
準シソーラス用語： 酸素含有量 ,  *HRTEM , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (6件)： クロム ,  窒化物 ,  オキシ窒化物 ,  Hardness ,  レーザアブレーション ,  積層欠陥

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高分解能透過型電子顕微鏡 ,  研究 ,  Cr ,  薄膜 ,  微細構造