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J-GLOBAL ID：201702267542911633   整理番号：17A0865344

マイクロチャンネル接合部における誘導液体伝播に及ぼすサブパターンの影響

Effect of Sub-Pattern on Guiding Liquid Propagation at Microchannel Junction

著者 (2件)： Yagi Natsumi (Department of Electrical Engineering, Nagaoka University of Technology) ,  Kawai Akira (Department of Electrical Engineering, Nagaoka University of Technology)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 29  号： 6  ページ： 833-834(J-STAGE)  発行年： 2016年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロチャネルのV字型およびT字型の接合部をフォトリソグラフィーによって形成した。このサブパターンは,ESEM観察によりチャネル接合部の液体の流れを制御するのに有効であることが明らかになった。これらの結果は,気泡形成などのいくつかの捕捉因子を回避してチャネル接合部での円滑な流れに寄与する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *固体素子 ,  マイクロチャネル ,  パターン形成 ,  フォトリソグラフィー ,  *表面処理 ,  走査電子顕微鏡 ,  接合部 ,  核形成 ,  制御 ,  切欠き ,  流れ制御 ,  環境走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： *固体デバイス ,  パターンニング ,  ESEM【顕微鏡】 ,  気泡核形成 ,  V字溝

著者キーワード (6件)： sub-pattern ,  ESEM ,  microchannel ,  liquid flow ,  Young-Laplace equation ,  pinning effect

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  表面処理  (YH04112X)

引用文献 (3件)：

• 1. W. Hattori, H. Someya, M. Baba, H. Kawaura, J. Chromatogr. A, 1051 (2004) 141.
• 2. A. Kawai, H. Endo T. Ariga, Microelectr. Eng., 83 (2006) 1167.
• 3. Y. Noguchi, K. Takahashi, A. Kawai, J. Photopolym. Sci. Technol., 26 (2013) 739.

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロチャンネル ,  接合部 ,  誘導 ,  伝播 ,  サブ