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J-GLOBAL ID：201702270166762253   整理番号：17A0381452

最新の表面マイクロマシニングプロセス 3D MEMSに向けての第一段階【Powered by NICT】

Advanced surface micromachining process - A first step towards 3D MEMS

著者 (9件)： Classen Johannes (Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany) ,  Reinmuth Jochen (Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany) ,  Kalberer Arnd (Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany) ,  Scheurle Andreas (Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany) ,  Gunther Sebastian (Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany) ,  Kiesel Stefan (Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany) ,  Schellin Bernt (Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany) ,  Brauer Jorg (Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics, Reutlingen, Germany) ,  Eicher Laura (Bosch Sensortec GmbH, Reutlingen, Germany)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MEMS  ページ： 314-318  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 量産慣性MEMSの性能限界をさらに開発した進歩したマイクロマシニングプロセス。新しいプラットフォーム技術の主な成果は,二つの独立したシリコン層の使用の代わりに,例えば,質量,ばね,自立電極を形成するために一つである。二重層プロセスオプションは,改善された性能とより小さな形状因子を持つ新しい3D様センサトポロジーへの道を開くものである。この技術を用いた最初の加速度計世代は,自動車やCE応用用に製造されている。これらの新しいデバイスの重要な特徴の一つは,それらが応力の影響を受けたモールドパッケージでも維持するそれらの比類のないオフセット安定性である。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： オフセット ,  大量生産 ,  形状因子 ,  加速度計 ,  *三次元 ,  ケイ素 ,  自動車 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 二重層 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 表面マイクロマシニング ,  プロセス ,  3D ,  MEMS ,  段階