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J-GLOBAL ID：201702270372139215   整理番号：17A1617335

白色干渉の振幅情報と位相情報に基づく極めて薄い透明電極ITO膜厚の計測

Measurement of extremely thin transparent electrode ITO film thickness based on amplitude information and phase information of white interference

著者 (3件)： CHEN Kai (筑波大) ,  LEI Feng (筑波大) ,  伊藤雅英 (筑波大)
資料名： 電気学会計測研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： IM-17  号： 26-31  ページ： 13-15  発行年： 2017年10月27日 
JST資料番号： Z0912A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *厚み測定 ,  膜厚 ,  *透明電極 ,  酸化インジウムスズ ,  振幅 ,  位相 ,  *光干渉法 ,  Fourier変換 ,  Fourier分光法
準シソーラス用語： *膜厚計測 ,  ITO電極 ,  ITO ,  *白色干渉法

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (8件)： 白色 ,  干渉 ,  振幅 ,  位相情報 ,  透明電極 ,  ITO膜 ,  厚 ,  計測