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J-GLOBAL ID：201702270923024787   整理番号：17A1732414

温度安定なATカット水晶厚板上のc軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた新しいタイプの広周波数範囲のせん断粘度センサ【Powered by NICT】

A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using c-axis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate

著者 (4件)： Yamakawa Yui (Faculty of Advanced Science and Engineering Waseda University Shinjuku, Tokyo, Japan) ,  Sano Ko-hei (Faculty of Advanced Science and Engineering Waseda University Shinjuku, Tokyo, Japan) ,  Karasawa Rei (Faculty of Advanced Science and Engineering Waseda University Shinjuku, Tokyo, Japan) ,  Yanagitani Takahiko (Faculty of Advanced Science and Engineering Waseda University Shinjuku, Tokyo, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： IUS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 液体の粘弾性の緩和特性を研究するために,MHz GHzの範囲で広い周波数掃引が望まれている。,広い周波数領域で動作することができる新しいタイプのH BAR(高倍音バルク音響共振器)センサを報告した。TCFは室温でゼロ温度変化による周波数シフトを抑制することである基質としてATカット水晶を選択した。空気中のH BARのTCFは3.2ppm/°Cであり,これは零TCF ATカット水晶基板に起因する単一ScAlN膜( 62 ppm/°C)と比較して,TCFの大きな改善が見られたと測定された。本研究では,周波数シフトと周波数ピーク減衰はH BAR粘度測定の有用性を実証するために,種々の濃度のグリセリン溶液に対して測定した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 倍音 ,  音響共振器 ,  *センサ ,  *厚板 ,  *ATカット ,  *ずり粘度 ,  緩和現象 ,  周波数領域 ,  粘弾性 ,  *薄膜 ,  *周波数 ,  周波数シフト
準シソーラス用語： 石英基板 ,  周波数掃引 ,  *水晶 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (9件)： ATカット ,  水晶 ,  厚板 ,  C軸 ,  配向 ,  薄膜 ,  タイプ ,  広周波数範囲 ,  せん断粘度