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J-GLOBAL ID：201702271172635235   整理番号：17A1251940

有向自己集合(DSA)を用いたTSV形成方法論の新しい概念【Powered by NICT】

New concept of TSV formation methodology using Directed Self-Assembly (DSA)

著者 (8件)： Fukushima Takafumi (Department of Mechanical Systems Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku University, 6-6-12 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan) ,  Murugesan Mariappan (New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University) ,  Ohsaki Shin (New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University) ,  Hashimoto Hiroyuki (New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University) ,  Bea Jichoel (New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University) ,  Lee Kang-Wook (New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University) ,  Tanaka Tetsu (Department of Mechanical Systems Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku University, 6-6-12 Aza-Aoba, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, Japan) ,  Koyanagi Mitsumasa (New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： 3DIC  ページ： 1-4  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ金属粒子とブロック共重合体からなるナノ複合材料を用いた高度指向性自己集合(DSA)に基づく新しいTSV形成方法論を提案した。円筒ナノ秩序構造をポリスチレン-メタクリル酸メチル重合体(PS b PMMA)の相分離によるSi深穴が形成された。形態に及ぼす重合体の分子量,組成(PS/PMMA比率),相分離温度の影響を議論した。添加では,自己無撞着場(SCF)理論を用いたシミュレーション結果は,微細ピッチTSVを紹介した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： シミュレーション ,  ナノ複合材料 ,  相分離 ,  *自己集合 ,  指向性 ,  重合体 ,  円筒 ,  分子量 ,  ブロック共重合体
準シソーラス用語： 秩序構造 ,  金属粒子 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子の立体構造  (CG02031G) ,  共重合  (CG04030D)

タイトルに関連する用語 (5件)： 自己集合 ,  DSA ,  TSV ,  方法論 ,  概念