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J-GLOBAL ID:201702275018373850   整理番号:17A1475250

太陽電池のシリコン原料に許容されるホウ素およびリンの濃度限界を高めるためのアルミニウム共ドーピング法

Aluminum Co-Doping Method to Increase the Boron and Phosphorous Concentration Limits Allowed in Silicon Feedstock for Solar Cells
著者 (2件):
資料名:
巻: 58  号: 10  ページ: 1439-1443(J-STAGE)  発行年: 2017年 
JST資料番号: G0668A  ISSN: 1345-9678  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,リンおよびホウ素を含む多結晶シリコンの電気的特性を改善するために,アルミニウム共ドーピング法を採用した。この方法は,補償理論凝固中にシリコン中のアルミニウム(kAl=2.8×10-3),ホウ素(kB=0.8)およびリン(kP=0.35)および異なる偏析係数に基づく。アルミニウムの共ドーピングを行ったシリコンインゴットの高さ全体にわたるキャリアタイプおよびキャリア濃度を測定した。その結果,極性反転が起こらず,アルミニウムの共ドーピングによって比較的低いキャリア濃度,すなわち低い純ドーピング濃度が達成できることを示している。さらに,アルミニウムの共ドーピングの有無にかかわらず,シリコンインゴットの高さ全体にわたる抵抗率および少数キャリアの寿命を測定した。その結果,制御した量のアルミニウム添加によって,比較的高く均一な抵抗率および少数キャリア寿命を達成できることを示す。加えて,電気的特性に及ぼす粒界の影響について検討した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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太陽電池 

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