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J-GLOBAL ID：201702275503014480   整理番号：17A0644081

集束軟x線ビームによる堆積でのCoおよびMnナノ構造の作製の探求

Exploring the fabrication of Co and Mn nanostructures with focused soft x-ray beam induced deposition

著者 (7件)： Tu Fan (Physikalische Chemie II and ICMM, Friedrich-Alexander-Universitaet Erlangen-Nuernberg (FAU), Egerlandstr.3, 91058 Erlangen, Germany) ,  Spaeth Andreas (Physikalische Chemie II and ICMM, Friedrich-Alexander-Universitaet Erlangen-Nuernberg (FAU), Egerlandstr.3, 91058 Erlangen, Germany) ,  Drost Martin (Physikalische Chemie II and ICMM, Friedrich-Alexander-Universitaet Erlangen-Nuernberg (FAU), Egerlandstr.3, 91058 Erlangen, Germany) ,  Vollnhals Florian (Physikalische Chemie II and ICMM, Friedrich-Alexander-Universitaet Erlangen-Nuernberg (FAU), Egerlandstr.3, 91058 Erlangen, Germany) ,  Krick Calderon Sandra (Physikalische Chemie II and ICMM, Friedrich-Alexander-Universitaet Erlangen-Nuernberg (FAU), Egerlandstr.3, 91058 Erlangen, Germany) ,  Fink Rainer H. (Physikalische Chemie II and ICMM, Friedrich-Alexander-Universitaet Erlangen-Nuernberg (FAU), Egerlandstr.3, 91058 Erlangen, Germany) ,  Marbach Hubertus (Physikalische Chemie II and ICMM, Friedrich-Alexander-Universitaet Erlangen-Nuernberg (FAU), Egerlandstr.3, 91058 Erlangen, Germany)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 35  号： 3  ページ： 031601-031601-7  発行年： 2017年05月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 2166-2746  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集束軟x線ビームによる有機金属前駆体からの金属堆積物の形成は,付加的なナノ構造作製のための有望な新技術である。本稿では,堆積法と走査透過x線顕微鏡でのCoおよびMnのナノ構造の比較研究について報告する。閾値近くの励起に関する前駆体分子の拡大した吸収断面積から生ずる,入射光子エネルギーに関する顕著な選択性を検出した。この効果を,2つの異なる前駆体分子の各々の金属中心のL_2,3吸収端,および,各々の配位子のNおよびOのK吸収端に関して検討した。コバルトトリカルボニルニトロシル〔Co(CO)₃NO〕からの堆積では光子律速成長モードと見出し,一方,メチルシクロペンタジエニルマンガントリカルボニル〔MeCpMn(CO)₃〕では,おそらく前駆体の低い蒸気圧のために,プロセスは前駆体律速である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *軟X線 ,  *ビーム ,  コバルト ,  マンガン ,  *金属薄膜 ,  *ナノ構造 ,  *MOCVD ,  *光CVD ,  コバルト錯体 ,  ニトロ錯体 ,  シクロペンタジエニル錯体 ,  マンガン錯体 ,  *EXAFS
準シソーラス用語： *X線ビーム

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  その他の構造決定法  (BK01070L)

タイトルに関連する用語 (8件)： 集束 ,  軟X線 ,  ビーム ,  堆積 ,  CO ,  Mn ,  ナノ構造 ,  作製