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J-GLOBAL ID：201702276305145669   整理番号：17A1943396

スロット励起マイクロ波放電による大気圧下での線状窒素プラズマ生成へのアプローチ

An approach to line-shaped nitrogen plasma production at atmospheric pressure by slot-excited microwave discharge

著者 (2件)： SUZUKI Haruka (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TOYODA Hirotaka (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 11  ページ： 116001.1-116001.4  発行年： 2017年11月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,大気圧下における大面積表面処理のために,2.45GHzマイクロ波励起分子ガス放電を用いた一次元線状プラズマ源を検討した。3次元マイクロ波シミュレーションの結果から,入力パワーを大幅に増加させることなく,スロット内の電場増強と破壊・維持を容易する,パワー密度を増加させるフラット導波路が提案された。定常波を抑制するために,ループ導波管システムに組み込まれた長さ30cmの狭ギャップスロットを有する平らな導波管を使用しCW電磁波出力の進行波によって,サブメーター長の純粋なN₂プラズマが生成された。プラズマの長さは,入力マイクロ波パワーを1.0kWから2.5kWに増加させることによって増加し,その最大値は約14cmであった。中性ガス温度1100Kは,発光分光法によって評価したN₂の正のバンドの回転温度から測定した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロ波放電 ,  スロットアンテナ ,  *大気プラズマ ,  *気体放電 ,  *数値解析 ,  導波路 ,  温度 ,  *プラズマ診断
準シソーラス用語： *電磁シミュレーション ,  ガス温度

分類 (3件)： 放電一般  (BJ03010I) ,  プラズマ診断  (BJ02090L) ,  電磁気学一般  (BD01020N)

引用文献 (35件)：

• S.-H. Yang, C.-H. Liu, C.-H. Su, and H. Chen, Thin Solid Films 517, 5284 (2009).
• J. H. Yim, V. Rodriguez-Santiago, A. A. Williams, T. Gougousi, D. D. Pappas, and J. K. Hirvonen, Surf. Coatings Technol. 234, 21 (2013).
• C. Borcia, I. L. Punga, and G. Borcia, Appl. Surf. Sci. 317, 103 (2014).
• M. Iwasaki, H. Inui, Y. Matsudaira, H. Kano, N. Yoshida, M. Ito, and M. Hori, Appl. Phys. Lett. 92, 081503 (2008).
• F. Chen, W. Xu, Y. Lu, J. Song, S. Huang, L. Wang, I. P. Parkin, and X. Liu, Micro Nano Lett. 10, 105 (2015).

タイトルに関連する用語 (5件)： スロット ,  励起 ,  マイクロ波放電 ,  大気圧 ,  窒素プラズマ