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J-GLOBAL ID：201702277211867333   整理番号：17A0953454

同軸アークプラズマ蒸着により形成した窒素ドープ超ナノ結晶ダイヤモンド/水素化非晶質炭素複合膜の化学結合構造解析

Chemical bonding structural analysis of nitrogen-doped ultrananocrystalline diamond/hydrogenated amorphous carbon composite films prepared by coaxial arc plasma deposition

著者 (7件)： GIMA Hiroki (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  ZKRIA Abdelrahman (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  ZKRIA Abdelrahman (Aswan Univ., Aswan, EGY) ,  KATAMUNE Yuki (Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu, JPN) ,  OHTANI Ryota (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  KOIZUMI Satoshi (National Inst. for Materials Sci., Ibaraki, JPN) ,  YOSHITAKE Tsuyoshi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 10  号： 1  ページ： 015801.1-015801.4  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,グラファイトターゲットを用いた同軸アークプラズマ蒸着により,水素および窒素混合ガス雰囲気中で形成した窒素ドープ超微結晶ダイヤモンド/水素化非晶質炭素複合膜を電気的および化学結合構造的に研究した。導電率は,窒素ドーピングにより増加し,n型伝導の生成を伴って増加した。著者等は,X線光電子放出,X線吸収端微細構造,水素前方散乱,およびフーリエ変換赤外スペクトルの結果から,ダイヤモンド粒界を終端化する水素原子の一部が,窒素原子に置換され,自由電子を生成し易いπC-NおよびC=N結合が,粒界に形成されることを示唆した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *プラズマCVD ,  ドーピング ,  ナノ結晶 ,  *薄膜 ,  *水素化物 ,  *炭素材 ,  *ナノ構造 ,  *複合膜 ,  *化学結合 ,  *構造解析 ,  グラファイト ,  ターゲット ,  電気伝導率 ,  不純物伝導 ,  光電子放出 ,  XANES ,  前方散乱 ,  FTIR分光法 ,  結晶粒界 ,  自由粒子 ,  電子
準シソーラス用語： *アークプラズマ ,  *プラズマ蒸着 ,  窒素ドープ ,  超ナノ結晶 ,  *ダイヤモンド膜 ,  *水素化アモルファス炭素 ,  *ナノ複合膜 ,  導電率 ,  N型伝導 ,  X線吸収端微細構造 ,  Fourier変換赤外分光法 ,  自由電子

分類 (4件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  分子の幾何学的構造一般  (BH05021S) ,  結晶結合  (BK05020K)

引用文献 (22件)：

• O. A. Shenderova and D. M. Gruen, Ultrananocrystalline Diamond (William Andrew Publishing, Norwich, NY, 2006).
• A. Nagano, T. Yoshitake, T. Hara, and K. Nagayama, Diamond Relat. Mater. 17, 1199 (2008).
• R. Kalish, Diamond Relat. Mater. 10, 1749 (2001).
• J. Robertson and C. A. Davis, Diamond Relat. Mater. 4, 441 (1995).
• S. Bhattacharyya, O. Auciello, J. Birrell, J. A. Carlisle, L. A. Curtiss, A. N. Goyette, D. M. Gruen, A. R. Krauss, J. Schlueter, A. Sumant, and P. Zapol, Appl. Phys. Lett. 79, 1441 (2001).

タイトルに関連する用語 (10件)： 同軸 ,  アーク ,  プラズマ蒸着 ,  窒素ドープ ,  ナノ結晶ダイヤモンド ,  水素化 ,  非晶質炭素 ,  複合膜 ,  化学結合 ,  構造解析