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J-GLOBAL ID：201702278157405407   整理番号：17A0402520

AZO/CuCr/AZO透明導電性電極に対する水素プラズマ効果【Powered by NICT】

Hydrogen plasma effect toward the AZO/CuCr/AZO transparent conductive electrode

著者 (3件)： Lin Tien-Chai (Department of Electrical Engineering, Kun Shan University, No. 195, Kun-Da Road, Yung-Kang Dist., Tainan 71003, Taiwan, ROC) ,  Huang Wen-Chang (Department of Electro-Optical Engineering, Kun Shan University, No. 195, Kun-Da Road, Yung-Kang Dist., Tainan 71003, Taiwan, ROC) ,  Tsai Fu-Chun (Department of Electro-Optical Engineering, Kun Shan University, No. 195, Kun-Da Road, Yung-Kang Dist., Tainan 71003, Taiwan, ROC)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 167  ページ： 85-89  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： AZO/Cr:Cu/AZO(ACCA),三層透明導電膜へのCr:Cu厚さの影響を研究で提示した。ACCA膜の構造と電気光学特性を検討した。中間金属層の厚さを変化させ,AZO層のそれは一定であった。ACCA膜のシート抵抗はCr:Cu層の堆積時間と共に明らかに減少し,30s蒸着試料で93.6Ω/□であった。膜のシート抵抗の減少が飽和堆積時間をさらに増加した。膜の透過率は,Cr:Cu厚みに大きく依存し,ACCA膜の30s蒸着試料で得られた85%の妥当な透過率。性能指数(FOM)値の対応する指数は2.1×10~ 3Ω~ 1に等しい。Crに関連した回折ピークはないとCuはX線回折解析を通して観察され,これはCr:Cu層は非晶質構造であることを示した。顕著なZnO(002)c軸優先成長は,各回折パターンで示され,この結晶粒の結晶性は金属層の厚さに依存している。H_2プラズマ不動態化は電気光学的性質の改善を示した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 結晶度 ,  回折 ,  透明導電膜 ,  酸化亜鉛 ,  透過率 ,  *銅 ,  性能指数 ,  *導電性 ,  不動態化 ,  X線回折 ,  シート抵抗 ,  結晶粒 ,  *クロム
準シソーラス用語： 回折パターン ,  *水素プラズマ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： AZO ,  Cr ,  Cu ,  シート抵抗 ,  Transmittance

分類 (3件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (3件)： Azo ,  導電性 ,  水素プラズマ