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J-GLOBAL ID：201702280060345189   整理番号：17A0953289

マイクロプラズマとその静電効果を利用した微粒子除去に関する基礎検討

Basic study of fine particle removal using microplasma and its electrostatic effect

著者 (5件)： SHIMIZU Kazuo (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  ITO Akihiko (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  BLAJAN Marius (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  KRISTOF Jaroslav (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  YONEDA Hitoki (Univ. Electro-Communications, Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 56  号： 1S  ページ： 01AC03.1-01AC03.6  発行年： 2017年01月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微粒子の制御は,半導体製造や室内環境・等の分野において注目を集めている。薄膜電極を利用して,微粒子の除去を行った。電極表面に発生した静電力が粒子に作用する。放電間隙を25μmに設定した薄膜電極は,約1kVの電圧で放電を発生する。電極表面から除去すべき対象粒子として,50μmのSiO₂粒子を使用した。1.0kV・500HzのAC電圧を印加したとき,粒子は電極外側に移動し,94%の粒子が除去された。さらに,印加電圧の周波数によって除去率が変動することが観察された。まとめると,電極との接触やマイクロプラズマによって帯電した微粒子は,静電力によって移動することができる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *集塵装置 ,  *膜電極 ,  *プラズマ ,  *微粒子 ,  帯電 ,  力 ,  *除去 ,  *静電気応用 ,  *マイクロプラズマ ,  静電気力
準シソーラス用語： 除塵機 ,  静電力

分類 (2件)： 集塵  (XD02100D) ,  空気浄化  (PC02060X)

引用文献 (34件)：

• J. H. Byeon, J. Hwang, J. H. Park, K. Y. Yoon, B. J. Ko, S. H. Kang, and J. H. Ji, J. Aerosol Sci. 37, 1618 (2006).
• S. Iwashita, K. Nishiyama, G. Uchida, H. Seo, N. Itagaki, K. Koga, and M. Shiratani, Fusion Eng. Des. 88, 28 (2013).
• R. N. Carlile, S. Geha, J. F. O’Hanlon, and J. C. Stewart, Appl. Phys. Lett. 59, 1167 (1991).
• H. Setyawan, M. Shimada, Y. Hayashi, and K. Okuyama, J. Vac. Sci. Technol. A 23, 388 (2005).
• K. Tachibana, IEEJ Trans. Electr. Electron. Eng. 1, 145 (2006).

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロプラズマ ,  微粒子除去 ,  基礎