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J-GLOBAL ID：201702280361052587   整理番号：17A0656133

新型プラズマプロセス用RF-ICP酸素負イオンプラズマのプローブ測定

Probe measurement of RF-ICP negative oxygen ion plasma for an innovative plasma

著者 (6件)： 児玉宜優 (京都工繊大) ,  比村治彦 (京都工繊大) ,  森本貴大 (京都工繊大) ,  平野達弥 (京都工繊大) ,  岡田成文 (大阪大) ,  政宗貞男 (京都工繊大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-17  号： 39-47  ページ： 23-27  発行年： 2017年05月13日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *負イオン源 ,  酸素 ,  *誘導結合プラズマ ,  *半導体プロセス ,  磁気フィルタ ,  *Langmuir探針 ,  プラズマ
準シソーラス用語： 酸素負イオン ,  負イオン ,  RFプラズマ

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマプロセス ,  RF ,  ICP ,  酸素 ,  負イオン ,  プラズマ ,  プローブ