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J-GLOBAL ID：201702282052942823   整理番号：17A1374958

イオンビームスパッタ成膜による回転体ミラーの内面形状修正

著者 (3件)： 横前俊也 (東大 大学院工学系研究科) ,  本山央人 (東大 大学院工学系研究科) ,  三村秀和 (東大 大学院工学系研究科)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2017  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M37  発行年： 2017年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： X線を高効率かつ色収差なくナノ集光する方法として回転体ミラーの開発が進められている。理想的な集光には,ミラー反射面においてRMS2nmの形状精度が必要となる。本研究では,イオンビームスパッタ法を用いたミラー内面成膜装置を開発した。内面における成膜厚さを制御することで形状を修正する。本発表では,回転体ミラー内面におけるスポット加工特性の評価とミラーの周方向における成膜実験を行った結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *イオンビームスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  *回転物体 ,  *反射鏡 ,  *内面 ,  *修正 ,  *形態 ,  集束 ,  *軟X線 ,  効率 ,  色収差 ,  *反射面 ,  *形状精度 ,  *薄膜成長 ,  膜厚 ,  厚み制御 ,  表面性状
準シソーラス用語： 形状修正 ,  ナノ集束 ,  高効率

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  X線技術  (BA02060D)

引用文献 (4件)：

• 久米健大 et al., 精密工学会誌, 80 (6) (2014)
• H. Motoyama et al., Jpn. J. Appl. Phys. 53, 022503 (2014)
• 本山央人 et al., 精密工学会講演論文集, 2015A(0) (2015)
• K. Kilaru et al. Opt. Eng. 50 (10), 106501 (2011)

タイトルに関連する用語 (5件)： イオンビームスパッタ ,  成膜 ,  回転体 ,  ミラー ,  形状修正