Lee Sang Won について
School of Chemical and Biological Engineering, Institute of Chemical Process, Seoul National University, 1 Gwanak-ro, Gwanak-gu, Seoul 151-744, Republic of Korea について
Bae Ki Ho について
School of Chemical and Biological Engineering, Institute of Chemical Process, Seoul National University, 1 Gwanak-ro, Gwanak-gu, Seoul 151-744, Republic of Korea について
Kwon Oh Joong について
Department of Energy and Chemical Engineering, Incheon National University, 119 Academy-ro Yeonsu-gu, In-cheon 406-772, Republic of Korea について
Kim Jae Jeong について
School of Chemical and Biological Engineering, Institute of Chemical Process, Seoul National University, 1 Gwanak-ro, Gwanak-gu, Seoul 151-744, Republic of Korea について
Microelectronic Engineering について
化学機械研磨 について
酸化物 について
銅 について
アミン について
ζ電位 について
X線光電子分光法 について
酸化物層 について
エッチング速度 について
粒子密度 について
官能基 について
リフトオフ について
錯化剤 について
洗浄液 について
Cu化学機械研磨 について
洗浄溶液 について
リフトオフ について
12 ビス (3 アミノプロピルアミ no)エタン について
固体デバイス製造技術一般 について
Cu について
CMP について
プロセス について
TAD について
洗浄液 について