文献

J-GLOBAL ID：201702284338579657   整理番号：17A1259166

プラズマエッチングによる微小共振器インラインMach-Zehnder干渉計の調整屈折率センシング特性【Powered by NICT】

Tuning refractive index sensing properties of micro-cavity in-line Mach-Zehnder interferometer with plasma etching

著者 (4件)： Janik Monika (Centre de recherche en photonique, Universite ́ du Que ́bec en Outaouais, 101 rue Saint-Jean-Bosco, Gatineau, QC J8X 3X7, Canada) ,  Koba Marcin (Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, Koszykowa 75, 00-662 Warsaw, Poland) ,  Bock Wojtek J. (Centre de recherche en photonique, Universite ́ du Que ́bec en Outaouais, 101 rue Saint-Jean-Bosco, Gatineau, QC J8X 3X7, Canada) ,  Smietana Mateusz (Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, Koszykowa 75, 00-662 Warsaw, Poland)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： OFS  ページ： 1-4  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,スペクトル応答の効果的な調整と微小共振器インラインMach-Zehnder干渉計(μIMZI)の屈折率(RI)感度のための反応性イオンエッチング(RIE)の応用を示した。μIMZIsは直径54μmの形円孔として標準単一モードファイバにおけるフェムト秒レーザマイクロマシニングを用いて作製した。反応性ガスとして用いSF_6とO_2を用いたRIEの応用は作製した構造の効率的でよく制御されたエッチングを可能にした。プロセスは微小共振器の底部と側壁の平滑化を洗浄した。透過測定では,プラズマ処理の影響は最小のスペクトル深さと構造のRI感度の両方の増加だけでなく,微小共振器表面の改善された濡れ性,測定は迅速で容易に観察された。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 反応性 ,  *屈折率 ,  濡れ ,  単一モードファイバ ,  *プラズマエッチング ,  平滑化 ,  フェムト秒 ,  *微小共振器 ,  プラズマ処理 ,  RIE【エッチング】 ,  *干渉計 ,  スペクトル ,  円孔
準シソーラス用語： レーザーマイクロマシニング ,  スペクトル応答 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマエッチング ,  微小共振器 ,  インライン ,  Mach-Zehnder干渉計 ,  屈折率 ,  センシング