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J-GLOBAL ID：201702284732089225   整理番号：17A1258614

仮想計測予測の信頼レベルに基づく動的サンプリング戦略【Powered by NICT】

A Dynamic Sampling strategy based on confidence level of Virtual Metrology predictions

著者 (1件)： Susto Gian Antonio (Department of Information Engineering, University of Padova, Italy)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： MIPRO  ページ： 78-83  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 計測は半導体製造における費用と時間のかかる活動である;この理由のために,動的サンプリング戦略と仮想計測法は,過去近年増加してきた。動的サンプリング戦略と仮想計測技術の両方を生産品質の許容レベルを維持しながら実施対策の量を最小にすることを目的としている。本研究では,進歩したプロセス制御アーキテクチャにおける仮想計測モジュールの利用可能性を考慮に入れた文献で最近提案された動的サンプリング方式を調べた。研究戦略を支援するアイデアは,仮想計測予測の信頼性レベルの利用可能性に基づいている;この方式の実装では,教師つき学習タスクのための一般的な機械学習アプローチを利用することにより達成され,ランダムフォレストと呼ばれている。前述の方式は,プラズマエッチングに関連した実際の工業データセットで試験し,これは古典的な計測戦略と比較した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 品質 ,  信頼性 ,  *予測 ,  プラズマエッチング ,  許容量 ,  教師つき学習 ,  機械学習
準シソーラス用語： ランダムフォレスト ,  研究戦略 ,  制御アーキテクチャ ,  半導体製造 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ゲーム理論  (KA03060T)

タイトルに関連する用語 (5件)： 仮想計測 ,  予測 ,  信頼 ,  サンプリング ,  戦略