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J-GLOBAL ID：201702286042131741   整理番号：17A1802547

CuOナノ粒子のフェムト秒レーザ還元を用いたCuベースマイクロ温度検出器の直接描画

Direct writing of Cu-based micro-temperature detectors using femtosecond laser reduction of CuO nanoparticles

著者 (4件)： MIZOSHIRI Mizue (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  ARAKANE Shun (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  SAKURAI Junpei (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  HATA Seiichi (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 9  号： 3  ページ： 036701.1-036701.4  発行年： 2016年03月 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CuOナノ粒子のフェムト秒レーザ還元を用いて,Cuベースマイクロ温度検出器を作成した。レーザ光線をCuOナノ粒子溶液膜上で走査することにより,Cuベースマイクロ構造を直接創り出した。CuリッチとCu₂Oのマイクロ構造が選択的に形成され,温度検出器に使用するための二つのCu薄膜電極を電気的に連結された。1.2nJのパルスエネルギーでCuリッチとCu₂Oのマイクロ温度検出器を,それぞれ,500μm/sと1000μm/sの走査速度で作成した。CuリッチとCu₂Oのマイクロ構造の抵抗値の温度係数は,それぞれ,正と負になった;これらの温度特性は,それぞれ,金属と半導体に典型的なものである。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ナノ粒子 ,  フェムト秒レーザ ,  *温度センサ ,  *レーザリソグラフィー ,  還元 ,  *固体素子 ,  レーザ加工 ,  構造 ,  速度 ,  光走査 ,  温度係数 ,  電気抵抗
準シソーラス用語： 酸化銅ナノ粒子 ,  *温度検出器 ,  *レーザ描画 ,  *マイクロ素子 ,  ミクロ構造 ,  走査速度 ,  レーザ走査

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (21件)：

• L. Thijs, F. Verhaeghe, T. Craeghs, J. V. Humbeeck, and J.-P. Kruth, Acta Mater. 58, 3303 (2010).
• Y. Iwabuchi and J. Yan, Appl. Phys. Express 8, 026501 (2015).
• A. Takaichi, Suyalatu, T. Nakamoto, N. Joko, N. Nomura, Y. Tsutsumi, S. Migita, H. Doi, S. Kurosu, A. Chiba, N. Wakabayashi, Y. Igarashi, and T. Hanawa, J. Mech. Behav. Biomed. Mater. 21, 67 (2013).
• M. F. Zaeh and M. Kahnert, Prod. Eng. 3, 217 (2009).
• S.-H. Sun, Y. Koizumi, S. Kurosu, Y.-P. Li, H. Matsumoto, and A. Chiba, Acta Mater. 64, 154 (2014).

タイトルに関連する用語 (6件)： CuOナノ粒子 ,  フェムト秒レーザ ,  還元 ,  Cu ,  温度検出器 ,  直接描画