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J-GLOBAL ID：201702286332242555   整理番号：17A1367064

高周波グロー放電発光分光分析法における詳細元素組成の信号応答のバイアス電流導入法による改良

Improvement in Signal Response of In-depth Elemental Profiles in Radio-frequency Glow Discharge Optical Emission Spectrometry by Using a Bias-current Introduction Method

著者 (2件)： Sakane Kenta (Institute for Materials Research, Tohoku University) ,  Wagatsuma Kazuaki (Institute for Materials Research, Tohoku University)
資料名： ISIJ International (Iron and Steel Institute of Japan)  (ISIJ International (Iron and Steel Institute of Japan))
巻： 57  号： 9  ページ： 1563-1566(J-STAGE)  発行年： 2017年 
JST資料番号： F0100A  ISSN： 0915-1559  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,13.56MHz高周波(RF)グロー放電発光分光分析における精密な深さプロファイルを取得する新しい方法を提案した。そのため,RFプラズマの自己バイアス電圧に関する現象に焦点を合わせた。自己バイアス電圧はRF負荷電極の近傍に誘導され,試料原子がプラズマ中にスパッタされる。放電ランプを備えた外部電気装置の接続により,プラズマ体を含む電気回路を通してバイアス電流が誘導される。バイアス電流量により原子発光分光のプラズマ特性は変化する。バイアス電流が高いとき,得られたプラズマはランプの電極および接地ハウジングなどの放電ランプの全領域に拡張し,プラズマが不安定化する。しかし,このようなプラズマへの暴露により,ランプを交換したときにランプの劣化箇所から混入したガス種が除去される。この効果は,放電した直後のエミッション信号の良好な応答に貢献する。ニッケルめっき鋼板のRF-GD-OESにおける深さプロファイルを測定し,バイアス電流誘導の効果について検討した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 表面処理鋼板 ,  ニッケルめっき ,  *原子発光分析 ,  グロー放電 ,  高周波放電 ,  *元素分析 ,  深さ分布 ,  プラズマ ,  バイアス ,  精度 ,  応答特性 ,  電流電圧特性
準シソーラス用語： *めっき鋼板 ,  *グロー放電発光分光分析 ,  バイアス電流 ,  RFプラズマ ,  自己バイアス ,  バイアス電圧 ,  分析精度

著者キーワード (5件)： glow discharge optical emission spectrometry ,  13.56-MHz radio frequency plasma ,  bias current ,  depth profiling ,  Ni-electroplated steel plate

分類 (2件)： 金属組織観察法  (WB01010R) ,  電気めっき  (WC08023B)

引用文献 (14件)：

• 1) R. Payling, D. Jones and A. Bengtson: Glow Discharge Optical Emission Spectrometry, John Wiley & Sons, Chichester, (1997), 497.
• 2) R. K. Marcus and J. A. C. Broekaert: Glow Discharge Plasmas in Analytical Spectroscopy, John Wiley & Sons, Chichester, (2003), 113.
• 3) T. Nelis and R. Payling: Glow Discharge Optical Emission Spectrometry: A Practical Guide, RSC Analytical Spectroscopy Monographs, Royal Society of Chemistry, Cambridge, (2003), 123.
• 4) K. Wagatsuma: High Temp. Mater. Process., 17 (1998), 97.
• 5) K. Wagatsuma and H. Matsuta: Spectrochim. Acta, Part B, 54 (1999), 527.

タイトルに関連する用語 (5件)： 高周波 ,  グロー放電発光分光分析 ,  元素組成 ,  応答 ,  バイアス電流