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J-GLOBAL ID：201702289332217106   整理番号：17A1694685

RePACを用いて作製したAlN成膜・改質膜組織のCL発光特性

著者 (4件)： 山下満 (兵庫県工技セ) ,  野間正男 (神港精機) ,  長谷川繁彦 (大阪大) ,  江利口浩二 (京大)
資料名： X線分析討論会講演要旨集  (X線分析討論会講演予稿集)
巻： 53rd  ページ： 169-170  発行年： 2017年10月26日 
JST資料番号： S0881A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *薄膜成長 ,  基板 ,  *窒化アルミニウム ,  電子プローブX線分析 ,  *陰極線ルミネセンス ,  アルミナ ,  表面構造 ,  X線回折
準シソーラス用語： *反応性プラズマ ,  サファイア基板

分類 (2件)： その他の物理分析  (CC03014E) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 作製 ,  AlN ,  成膜 ,  改質 ,  組織 ,  Cl ,  発光特性