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J-GLOBAL ID：201702289381850731   整理番号：17A1125314

ウェーブレットを用いた大面積MIMコンデンサの故障部位の空間的解析【Powered by NICT】

Spatial analysis of failure sites in large area MIM capacitors using wavelets

著者 (6件)： Munoz-Gorriz J. (Departament d’Enginyeria Electronica, Universitat Autonoma de Barcelona, Spain) ,  Monaghan S. (Tyndall National Institute, University College Cork, Cork, Ireland) ,  Cherkaoui K. (Tyndall National Institute, University College Cork, Cork, Ireland) ,  Sune J. (Departament d’Enginyeria Electronica, Universitat Autonoma de Barcelona, Spain) ,  Hurley P.K. (Tyndall National Institute, University College Cork, Cork, Ireland) ,  Miranda E. (Departament d’Enginyeria Electronica, Universitat Autonoma de Barcelona, Spain)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 178  ページ： 10-16  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： high-K誘電体(HfO_2)を用いた大面積(10~4 10~5 μm~2)金属-絶縁体-金属(MIM)キャパシタの故障サイトの空間分布は角度ウェーブレットを用いて調べた。破壊部位はキャパシタに適用した一定または傾斜電気的ストレスの結果である。応力中に起こる重要な局所熱効果のために,破壊部位は上部金属電極上の点パターンとして見えるようになる。より少ない損傷デバイスの場合では,ポアソン点過程(完全な空間的ランダム性)に期待されるようにウェーブレット分散法で得られた結果は,絶縁破壊スポットの等方性分布と一致した。これに反して,激しく損傷したデバイスのための,この方法は電圧プローブ位置に関連した分解の優先方向の兆候を示した。この場合,異方性は角点イベント分布と対相関関数のような代替空間統計法によって確認された。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 絶縁破壊 ,  *コンデンサ ,  異方性 ,  *故障 ,  等方性 ,  空間分布 ,  *波束 ,  誘電体 ,  電圧 ,  熱影響 ,  絶縁体 ,  プローブ
準シソーラス用語： 金属電極 ,  *MIMキャパシタ ,  *大面積 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： 酸化物の絶縁破壊 ,  信頼性 ,  MIM ,  空間統計

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (5件)： ウェーブレット ,  大面積 ,  MIMコンデンサ ,  故障 ,  解析