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J-GLOBAL ID：201702290427491306   整理番号：17A0925034

ガスセンサの進歩と新たな応用 ボールSAWセンサと水素ガス・微量水分計測への応用

著者 (1件)： 山中一司 (ボールウェーブ)
資料名： 化学工学  (Chemical Engineering of Japan)
巻： 81  号： 8  ページ： 436-439  発行年： 2017年08月05日 
JST資料番号： F0099A  ISSN： 0375-9253  CODEN： KKGKA4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 球状圧電体の表面を表面音響波(SAW)が減衰せずに周回伝搬する原理を利用したボールSAWセンサについて紹介した。水素ガスセンサでは,直径10mmの水晶球の赤道上にすだれ状電極を形成し,Pd薄膜をSAW伝搬面の80%に蒸着した。パルス反射型の超音波送受信機を用いて,多数回周回時の波形から伝播速度の遅れを検出し,ガス濃度を決定した。10ppm~100%水素が検出できた。また,微量水分計としての活用についても紹介した。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  弾性表面波素子 ,  弾性表面波 ,  音波導波路 ,  圧電体 ,  石英 ,  速度 ,  濃度依存性 ,  水素 ,  水分計
準シソーラス用語： 伝搬速度

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  気体燃料の性質,組成,分析,試験  (YE02020U)

引用文献 (19件)：

• Hughes, R. C. et al. : J. Appl. Phys., 71, 542-544(1992)
• D'Amico, D. et al.: IEEE Ultrasonics Symp. Proc. (San Diego, CA; New York: IEEE), pp.308-310(1982)
• Jakubik, W. P. et al. : Sens. Actuators B, 82, 265-271(2002)
• Funke, H. H. et al. : Rev. Sci. Instrum., 74, 3909-3933(2003)
• 阿部恒: Syntheology, 2, 223-236(2009)

タイトルに関連する用語 (6件)： ガスセンサ ,  応用 ,  ボール ,  SAWセンサ ,  水素ガス ,  水分計測