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J-GLOBAL ID：201702295189102530   整理番号：17A1090446

リソグラフィーパターンとナノ構造の解析用に設計したツール

Designed tools for analysis of lithography patterns and nanostructures

著者 (9件)： DERVILLE Alexandre (POLLEN Metrology, Moirans, FRA) ,  DERVILLE Alexandre (Univ. Grenoble Alpes, FRA) ,  BADEROT Julien (POLLEN Metrology, Moirans, FRA) ,  BERNARD Guilhem (POLLEN Metrology, Moirans, FRA) ,  FOUCHER Johann (POLLEN Metrology, Moirans, FRA) ,  GROENQVIST Hanna (POLLEN Metrology, Moirans, FRA) ,  LABROSSE Aurelien (POLLEN Metrology, Moirans, FRA) ,  MARTINEZ Sergio (POLLEN Metrology, Moirans, FRA) ,  ZIMMERMANN Yann (POLLEN Metrology, Moirans, FRA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 10145  号： Pt.1  ページ： 101450I.1-101450I.12  発行年： 2017年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： リソグラフィーパターンとナノ構造の解析用に設計したツールセットを紹介した。これらの対象物の古典的計量分析には長時間を要し,手動調整が必要で,ロバスト性と使い勝手が不十分であるなどの欠点がある。これらの問題の解決を目標として,半自動,自動,機械学習を強化したツールなど,様々なレベルの新しい画像処理ツールを示した。完全なツールセットを研究室を仮想工場に変えるように設計したソフトウェアプラットフォームに統合した。新しい方法の第一の利点は異質なデータを一つのソフトウェアに統合し,データ管理を容易にしたことである。第二の利点は解析時間の短縮である。さらに,アルゴリズムの透明性,ロバスト性,確度,精度,信頼性があげられる。

シソーラス用語： リソグラフィー ,  *ナノ構造 ,  解析 ,  ロバスト性 ,  機械学習 ,  *画像処理 ,  ソフトウェア ,  信頼性 ,  *カーボンナノチューブ ,  エッジ検出 ,  表面粗さ
準シソーラス用語： ナノパターン ,  マイクロリソグラフィー ,  解析ツール

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ構造 ,  解析 ,  設計 ,  ツール