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J-GLOBAL ID：201702295863135442   整理番号：17A1277085

エネルギー貯蔵用の超伝導材料を堆積するSmoothenedホタテガイを用いた多段階スパイラル溝【Powered by NICT】

Multi-stepped spiral trench with smoothened scallop to deposit superconducting material for energy storage

著者 (6件)： Hsu Che-Wei (Toyota Technological Institute, Nagoya, Japan) ,  Kumagai Shinya (Toyota Technological Institute, Nagoya, Japan) ,  Suzuki Yasuhiro (Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Hioki Tatsumi (Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Motohiro Tomoyoshi (Nagoya University, Nagoya, Japan) ,  Sasaki Minoru (Toyota Technological Institute, Nagoya, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017  号： TRANSDUCERS  ページ： 1875-1878  発行年： 2017年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 3インチウエハ上の45m長の螺旋溝は,超伝導磁気エネルギー貯蔵(SMES)コイルのための作製した。3段構造を3回パターン形成とそれに続くSiエッチングにより作製した。設計では,ランダム欠陥に起因する切断リスクを減少させることができる。深い反応性イオンエッチングの処方はサイクルとホタテガイエッチングを減少させるために調整した。平滑化側壁は酸化と成長させたSiO_2エッチングで作製した。これは後に蒸着したNbN膜の品質を改善する。作製したコイルは増加した電流を持つ明確な超伝導を示すことを確認した。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： エッチング ,  品質 ,  SMES ,  *エネルギー貯蔵 ,  RIE【エッチング】 ,  電流 ,  パターン形成 ,  *超伝導材料 ,  平滑化 ,  *超伝導 ,  ケイ素 ,  *ホタテガイ ,  磁気
準シソーラス用語： NbN , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 超伝導磁石  (BM04042N) ,  NMR一般  (BM07041R)

タイトルに関連する用語 (7件)： エネルギー貯蔵 ,  超伝導材料 ,  堆積 ,  Smoothened ,  ホタテガイ ,  段階 ,  スパイラル溝