レーザ光によるガラス基板融着方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-158615
公開番号（公開出願番号）：特開2015-030625
特許番号：特許第6141715号
出願日： 2013年07月31日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】重ね合わされたガラス基板にレーザ光を照射してガラス基板同士を融着させるガラス基板の融着方法であって、 2枚のガラス基板を、前記2枚のガラス基板の間にレーザ光吸収材を介在させることなしに重ね合わせる第1工程と、前記重ね合わされたガラス基板の一方側の主面から波長が2.7μm以上6.0μm以下の中赤外光の単一のレーザ光を照射しながら融着予定ラインに沿って走査し、前記2枚のガラス基板を、多光子吸収現象を生じさせることなく融着する第2工程と、を備えたレーザ光によるガラス基板融着方法。

IPC (3件)：