特許
J-GLOBAL ID：201703000593573409

表面形状測定装置

発明者：
山田 勝人

山田 勝人 について

, 
高見 芳夫

高見 芳夫 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-547354
特許番号：特許第6098731号
出願日： 2013年11月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定対象物に対してライン状の領域にレーザ光を照射し、該レーザ光の照射位置の画像を該レーザ光の照射方向と異なる方向から撮影することにより、前記測定対象物の表面形状を測定する表面形状測定装置であって、 a)2つ以上のミラーで規定される同一平面上に位置しない3つ以上の光路でそれぞれが構成される、複数の変換光路を使って、前記レーザ光の照射位置の画像を前記領域の長手方向に複数に分割し、分割後の複数の画像が同一平面上で前記長手方向と異なる方向に並んで位置するように並び替えて配置する変換光学系と、 b)前記変換光学系によって並び替えて配置された複数の画像をまとめて撮像する、結像レンズを有する撮像部と、 を備え、 前記変換光路のそれぞれにおいて前記レーザ光の照射位置からの光路長が最も短い位置に配置されたミラーが、前記領域の長手方向に対応する方向に、前記分割後の画像の長さよりも長く延設されているとともに、 各変換光路の光路上に、当該変換光路とは別の変換光路を構成するミラーが位置しないように、前記複数のミラーが配置されている ことを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (1件)：
G01B 11/24 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01B 11/24 K
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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