特許
J-GLOBAL ID：201703000702441810

粒子検出装置及び粒子検出装置の制御方法

発明者：
衣笠 静一郎

衣笠 静一郎 について


出願人/特許権者：
アズビル株式会社

アズビル株式会社 について


代理人 (4件)： 稲葉 良幸 ,  大貫 敏史 ,  江口 昭彦 ,  内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-115717
公開番号（公開出願番号）：特開2017-219488
出願日： 2016年06月09日
公開日（公表日）： 2017年12月14日
要約：
【課題】検査対象の流体の流量を一定に保ちやすい粒子検出装置を提供する。【解決手段】 チャンバ30と、チャンバ30内に粒子を含む流体を導入するための第1の導入流路225と、チャンバ30内に粒子が除去された流体を導入するための第2の導入流路235と、流体に含まれる粒子を検出するためにチャンバ30内の流体に光を照射する光源10と、チャンバ30から流体を排出するための排出流路260と、第2の導入流路235を流れる流体の流量を計測する導入流量計245と、第1の導入流路225を流れる流体の所定の流量と、導入流量計245が計測した第2の導入流路235を流れる流体の流量と、の合計流量の流体が排出流路260を流れるよう制御する制御部301と、を備える粒子検出装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
チャンバと、 前記チャンバ内に粒子を含む流体を導入するための第1の導入流路と、 前記チャンバ内に粒子が除去された流体を導入するための第2の導入流路と、 前記チャンバ内の前記流体に光を照射し、前記流体に含まれる粒子を検出する検出器と、 前記チャンバから流体を排出するための排出流路と、 前記第2の導入流路を流れる流体の流量を計測する導入流量計と、 前記第1の導入流路を流れる流体の所定の流量と、前記導入流量計が計測した流量と、の合計流量の流体が前記排出流路を流れるよう制御する制御部と、 を備える、粒子検出装置。
IPC (1件)：
G01N 15/14
FI (1件)：
G01N15/14 E
引用特許：
審査官引用 (4件)
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